三維測量顯微鏡

SKU: FM-3D-MM

產(chǎn)品介紹

產(chǎn)品簡介：

表面微觀三維結(jié)構(gòu)測量，表面三維粗糙度非接觸測量

檢測對象：

精密光學(xué)元件，微納加工器件，金屬機(jī)加工零件

面向行業(yè)：

半半導(dǎo)體，汽車，太陽能，精密光學(xué)等從事表面分析的各類科研院所及企業(yè)

技術(shù)參數(shù)：

1.縱向測量重復(fù)性: 0.5nm （PSI 模式）縱向分辨率： 2nm

2.縱向測量范圍：15mm

3.高度測量示值誤差： <3%

4.配備超高橫向分辨率測量功能（橫向分辨 100nm）

5.豐富的三維特征分析軟件和粗糙度分析功能

6.采用抗震性硬件結(jié)構(gòu)和軟件算法設(shè)計

測量實例

VLSI納米臺階標(biāo)準(zhǔn)塊三維測量結(jié)果磨削加工表面三維微觀結(jié)構(gòu)測量

VLSI納米臺階標(biāo)準(zhǔn)塊三維測量結(jié)果.jpg 磨削加工表面三維微觀結(jié)構(gòu)測量.jpg


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