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自由曲面三維面型檢測系統(tǒng)

產(chǎn)品介紹

 產(chǎn)品功能：

   光學(xué)元件表面的三維面型測量、 面型逆向和面型輪廓精度質(zhì)量評價

檢測對象：

    自由曲面反射鏡、曲面蓋板玻璃、 玻璃面板、透鏡、精密模具、 晶圓硅片等

面向行業(yè)：

    HUD、AR、精密光學(xué)及 3D 曲面 玻璃等領(lǐng)域生產(chǎn)企業(yè)或研發(fā)機構(gòu)

技術(shù)特點：

1、自由曲面反射鏡及其它光學(xué)元件表面的光學(xué)非接觸、全場 3D 輪廓測量。

2、測量過程簡單,無需精密調(diào)整樣品姿態(tài), 單件測量時間一般小于 20 秒；檢測效率遠(yuǎn)遠(yuǎn)優(yōu)于三坐標(biāo)和UA3P 等接觸式三維檢測設(shè)備，適合用于自由曲面光學(xué)面的全檢。

3、基于 CAD 模型或者方程式的三維面型數(shù)據(jù)比對分析，可自動完成面型質(zhì)量評價，輸出信息完善：包含完善的 3D 誤差分布圖、上下公差比例計算、PV 和 RMS 值、3D 顯示、曲率分析、斜率誤差以及凹凸分析。

4、完備的擬合分析：xy 多項式、Zernike、Legendre 擬合分析，可用于自由曲面零件的三維逆向分析以及注塑缺陷工藝分析。

5、豐富的 2D、3D 表面瑕疵分析功能：可以分析麻點，劃痕，刀紋，流紋以及塌邊等常見的注塑缺陷。可以提供暗場缺陷分析?？梢愿鶕?jù)用戶需求開發(fā)統(tǒng)計功能。

6、豐富的線性尺寸分析功能，可以分析整體線性尺寸和缺陷尺寸，并輸出報告。

7.單點車刀痕紋理誤差的三維定量分析，用于零件和模具表面彩虹紋和刀紋三維定量分析單點車反射鏡面型誤差測量結(jié)果（和激光干涉儀比較）PV=0.45um

8完善的測量輸出功能（測量原始數(shù)據(jù)輸出、可訂制化檢測報告輸出以及 Log 統(tǒng)計文件輸出），可根據(jù)用戶需求訂制輸出報告的內(nèi)容格式。

技術(shù)參數(shù)