序號
|
名稱
|
技術(shù)參數(shù)
|
1
|
平場目鏡
|
正像大場高眼點目鏡PL10X/25mm
|
2
|
物鏡
|
無限遠(yuǎn)長工作距明暗場半復(fù)消色差金相物鏡5X NA0.15 WD14.35
無限遠(yuǎn)長工作距明暗場半復(fù)消色差金相物鏡10X NA0.30 WD8.5
無限遠(yuǎn)長工作距明暗場半復(fù)消色差金相物鏡20X NA0.40 WD10.8
無限遠(yuǎn)長工作距明暗場半復(fù)消色差金相物鏡50X NA0.75 WD3.0
無限遠(yuǎn)長工作距明暗場半復(fù)消色差金相物鏡100X NA0.90 WD1.0(選購)
|
3
|
光學(xué)放大倍數(shù)
|
50X-500X(選購100倍物鏡后放大倍數(shù)50-1000X)
|
4
|
數(shù)碼放大倍數(shù)
|
150-3000X(搭配1200萬相機(jī)及100倍物鏡,顯示器22英寸情況下)
|
5
|
觀察頭
|
鉸鏈三通觀察筒,瞳距調(diào)節(jié):50mm~76mm,兩檔分光比雙目:三目=100:0
|
6
|
轉(zhuǎn)換器
|
5孔明場物鏡轉(zhuǎn)換器(帶DIC插槽).
|
7
|
調(diào)焦機(jī)構(gòu)
|
透反射用機(jī)架, 低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程35mm,微調(diào)精度0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置。內(nèi)置100-240V寬電壓系統(tǒng),采用數(shù)字調(diào)光,具有光強(qiáng)設(shè)定與復(fù)位功能
|
8
|
載物臺
|
8英寸平臺,平臺面積 525*330mm,移動行程:210mmX210mm機(jī)械平臺,X、Y方向同軸調(diào)節(jié);含快速移動裝置
|
9
|
偏光組件
|
起偏鏡插板,360°旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板
|
10
|
反射照明系統(tǒng)
|
明暗場反射照明器,帶可變孔徑光闌,視場光闌,中心可調(diào),帶濾色片插槽,帶起偏鏡/檢偏鏡插槽,5W可調(diào)LED燈室,預(yù)定中心
|
11
|
透射照明系統(tǒng)
|
5W可調(diào)LED燈室,透、反射通用,預(yù)定中心
|
12
|
聚光鏡
|
搖出式消色差聚光鏡(N.A.0.9)
|
13
|
攝像接口
|
0.65倍專用攝像接口
|
14
|
干涉組件
|
微分干涉板(選購)
|
15
|
顯微鏡工業(yè)相機(jī)
|
高清1200萬顯微相機(jī) 或2000萬像素 (選購)
|
16
|
圖像處理軟件
|
拍照,錄像,測量,實時圖像拼接,景深融合等(選購)
|
17
|
標(biāo)尺
|
高精度型測微尺,格值0.01m 總長1mm(選購)
|
18
|
晶圓轉(zhuǎn)臺
|
8寸通用晶圓轉(zhuǎn)臺兼容6/4寸(選購)
|