CM120BD-AF研究級(jí)電動(dòng)12寸大平臺(tái)半導(dǎo)體檢查顯微鏡 采用電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器，支持軟件及按鈕雙控，配置12寸大平臺(tái)，帶快速移動(dòng)裝置，配置有偏光裝置

序號(hào)

名稱

技術(shù)參數(shù)

1

平場(chǎng)目鏡

正像大場(chǎng)高眼點(diǎn)目鏡PL10X/25mm

2

物鏡

無限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距明場(chǎng)半復(fù)消色差金相物鏡2.5X NA0.08 WD9.2 （選購(gòu)）

無限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距明暗場(chǎng)半復(fù)消色差金相物鏡5X NA0.15 WD15

無限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距明暗場(chǎng)半復(fù)消色差金相物鏡10X NA0.30 WD8.4

無限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距明暗場(chǎng)半復(fù)消色差金相物鏡20X NA0.40 WD11.9

無限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距明暗場(chǎng)半復(fù)消色差金相物鏡50X NA0.75 WD3.0

無限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距明暗場(chǎng)半復(fù)消色差金相物鏡100X NA0.90 WD1.0（選購(gòu)）

3

光學(xué)放大倍數(shù)

50X-500X（選購(gòu)100倍物鏡后放大倍數(shù)25-1000X）

4

數(shù)碼放大倍數(shù)

75-3000X(搭配1200萬相機(jī)及100倍物鏡，顯示器22英寸情況下)

5

觀察頭

鉸鏈三通觀察筒，瞳距調(diào)節(jié)：50mm~76mm，兩檔分光比雙目:三目=100：0

6

5孔編碼型明暗場(chǎng)物鏡轉(zhuǎn)換器（帶DIC插槽）

編碼型物鏡轉(zhuǎn)換器將顯微鏡的硬件設(shè)置與圖像分析軟件整合在一起。屏幕上顯示物鏡的放大倍率，同時(shí)切換倍率時(shí)也能自動(dòng)調(diào)整軟件中記錄的校準(zhǔn)值，杜絕忘記切換軟件倍率造成的測(cè)量錯(cuò)誤.

7

調(diào)焦機(jī)構(gòu)

反射用機(jī)架, 低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程35mm,微調(diào)精度0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置。

8

載物臺(tái)

12英寸載物臺(tái)，平臺(tái)面積 760*430mm，玻璃臺(tái)面310*418mm，移動(dòng)行程：300mmX300mm機(jī)械平臺(tái)，X、Y方向同軸調(diào)節(jié)；含快速移動(dòng)裝置

9

晶圓轉(zhuǎn)臺(tái)

12寸通用晶圓轉(zhuǎn)臺(tái)（選購(gòu)）

10

偏光組件

起偏鏡插板，360°旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板

11

反射照明系統(tǒng)

明暗場(chǎng)反射照明器，帶可變孔徑光闌，視場(chǎng)光闌，中心可調(diào)，帶濾色片插槽，帶起偏鏡/檢偏鏡插槽，10W可調(diào)LED燈室，透、反射通用，預(yù)定中心

13

聚光鏡

搖出式消色差聚光鏡（N.A.0.9）

14

攝像接口

0.65倍專用攝像接口

15

干涉組件

諾曼爾斯基微分干涉片（選購(gòu)）

16

顯微鏡工業(yè)相機(jī)

高清1200萬顯微相機(jī) 或2000萬像素或自動(dòng)對(duì)焦相機(jī)（選購(gòu)）

17

圖像處理軟件

拍照，錄像，測(cè)量，實(shí)時(shí)圖像拼接，景深融合等（選購(gòu)）

18

標(biāo)尺

高精度型測(cè)微尺，格值0.01m 總長(zhǎng)1mm（選購(gòu)）