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MX4RT微分干涉工業(yè)檢測(cè)顯微鏡 金相顯微鏡 /工業(yè)檢測(cè)顯微鏡/微分干涉顯微鏡

SKU: MX4RT

產(chǎn)品介紹

 

產(chǎn)品簡(jiǎn)介:

    MX4RT微分干涉顯微鏡具備明場(chǎng)觀察,偏光觀察以及DIC觀察三種觀察模式,可以觀察FOGCCOG爆破粒子狀態(tài)結(jié)構(gòu)。

產(chǎn)品性能特點(diǎn):

  MX4RT為新型FPD檢查顯微鏡,專為LCD行業(yè)/ TFT玻璃/COG導(dǎo)電粒子壓痕、粒子爆破檢查

  MX4RT采用6寸平臺(tái)設(shè)計(jì),可適用于相應(yīng)尺寸的晶圓或小尺寸樣品的金相檢查

  MX4RT采用長(zhǎng)工作距物鏡、半復(fù)消色差技術(shù),多層寬帶鍍膜技術(shù),采用長(zhǎng)壽命LED光源。

技術(shù)參數(shù)

 

序號(hào) 名稱 技術(shù)參數(shù)
1 平場(chǎng)目鏡 大視野PL10X/22mm
2 金相物鏡 無限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距平場(chǎng)消色差金相物鏡5X-DIC,WD=10.8mm,NA=0.15
無限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距平場(chǎng)消色差金相物鏡10X-DICWD=12.2mm,NA=0.30
無限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距平場(chǎng)消色差金相物鏡20X-DICWD=4mm,NA=0.45
無限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距平場(chǎng)消色差金相物鏡50X,WD=7.9mm NA=0.55
3 總放大倍數(shù) 50X-500X
4 觀察頭 鉸鏈?zhǔn)饺浚?font class="font6">30°傾斜,分光比:三目50%/50%
6 調(diào)焦機(jī)構(gòu) 透反機(jī)架,前置低手位粗微調(diào)同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu),粗調(diào)每轉(zhuǎn)行程:30mm,微調(diào)精度:0.001mm,帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置,內(nèi)置5WLED透射光照明系統(tǒng),上下光可獨(dú)立控制
7 載物臺(tái) 6英寸三層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái),低手位X\Y方向同軸調(diào)節(jié),平臺(tái)面積445mmX240mm,移動(dòng)范圍:158mmX158mm,玻璃載物平臺(tái)
8 偏光附件 檢偏鏡可360度旋轉(zhuǎn),起偏鏡和檢偏鏡均可移出光路
9 攝像接口 0.5X攝像接口,C型接口
10 照明系統(tǒng) 寬電壓100V~240V,5W暖色LED落射光照明系統(tǒng),帶視場(chǎng)光闌與孔徑光闌,中心可調(diào)。

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