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CMY-420科研級三目正置大平臺金相顯微鏡半導體晶圓材料分析

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CMY-420科研級三目正置大平臺金相顯微鏡采用優(yōu)良的無限遠光學系統(tǒng)與模塊化功能設計理念,可以方便升級系統(tǒng),儀器配有偏光裝置可實現(xiàn)偏光觀察同時可選配暗裝置及微分干涉裝置。儀器緊湊穩(wěn)定的高剛性主體,充分體現(xiàn)了顯微操作的防振要求。符合人機工程學要求的理想設計,使操作更方便舒適,空間更廣闊,圖像清晰、襯度好。適用于薄片試樣的金相、礦相、巖相、晶體等結構分析和鑒別,電子芯片的檢查或用于觀察材料表面特性,如:劃痕、裂紋、噴涂的均勻性等及紡織纖維、化學顆粒的分析研究。是生物學、金屬學、礦物學、精密工程學、電子學等研究的理想儀器。總放大倍數(shù):50X-800X

 

顯微鏡參數(shù):

 

序號

名稱

技術參數(shù)

1

平場目鏡

大視野 WF10X(Φ22mm)

2

無限遠長距平場物鏡

PL L5X/0.12   工作距離:26.1 mm

PL L10X/0.25  工作距離:20.2 mm

PL L20X/0.40  工作距離:8.80 mm

PL L50X/0.70  工作距離:3.68 mm

PL L80X/0.80  工作距離:1.25 mm

3

總放大倍數(shù)

50X-800X

4

觀察頭

三目鏡,傾斜30?,(內置檢偏振片,可進行切換)

5

轉換器

五孔 (外向式滾珠內定位

6

粗微調調焦范圍

粗微動同軸調焦, 微動格值0.7μm, 粗動松緊可調,帶鎖緊和限位裝置

7

載物臺

機械式載物臺,外形尺寸:280mmX270mm,移動范圍:橫向(X204mm,縱向(Y204mm

8

光瞳距離

53-75mm

9

濾色片

(黃、藍、綠、磨砂玻璃)濾色片轉換裝置

10

偏光裝置

推拉式檢偏器與起偏器

11

落射照明系統(tǒng)

6V30W鹵素燈,亮度可調內置視場光欄、孔徑光欄

 

12

儀器重量

凈重11.0公斤    毛重12.5公斤

13

儀器尺寸

儀器尺寸44X45X42cm 包裝尺寸45X50X50(cm)

 

注意事項:
儀器成套性與可選購件可參考產品原頁面,本頁只提供儀器核心技術參數(shù)。
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