技術(shù)參數(shù):
探頭A
探頭B
工作距離
11mm
19mm
量程
±190um
±1700um
最大傾角
±28°
±21°
光斑尺寸
10um
20um
分辨率
10nm
40nm
精度
±0.02%F.S.
最小厚度測量
12um
66um
最大厚度測量
511um
5098um
電動臺參數(shù):
XY平臺
驅(qū)動
直線磁軸電機
平臺大小
220X230mm
XY方向行程
100X100mm
0.05μm
重復(fù)定位精度
<1μm
最大允許負重
2Kg
掃描速度
≤80mm/s
掃描間距
≥0.5μm
電氣特性
控制器(專用電腦)額定輸入
100-240V AC 5.3A 50/60Hz
驅(qū)動器(專用機箱)額定輸入
48V DC 2.1A
傳感器輸入
24V DC 3A
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