美國Micro-VU Spectra臥式投影儀

SKU: Spectra

技術參數(shù)

型號	Spectra Bench Optical	Spectra Floor Optical
量測行程	300x150x75mm	300x150x75mm
外形尺寸	950x1075x1025mm	950x1075x1775mm
重量	114kg	146kg
承載重量	9kg
平臺材質(zhì)	鋼構
傳動方式 X&Y	Steel Balls And Rods
XY 精度	Ux=2.5+L/25μm ，Uy=2.5+L/15μm
Z 精度	U=2.5 μm
XY 重現(xiàn)性	12.5μm
Z 重現(xiàn)性	7.5μm
光學尺分辨率	2.0 μm
影像	14’’ Erected, Bright And Sharp
光源	輪廓光,表面光
鏡頭/放大倍率	10x, 20x, 31 1/4x, 40x, 50x, 100x
量測系統(tǒng)	Q16 Metrology Box 或 Optional Inspec Software
工作環(huán)境	20℃±2°, 30-80% 濕度
電源系統(tǒng)	110 或 220 VAC


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